Wodę nie tylko wykorzystuje się w procesach produkcyjnych, ale niejednokrotnie sama jest produktem. Niekiedy nie może być oczyszczana za pomocą substancji chemicznych, jak na przykład chlor, dlatego w wielu zastosowaniach przemysłowych powszechnie stosuje się dezynfekcję za pomocą promieniowania ultrafioletowego. Skuteczność tej metody jest identyczna z efektywnością sterylizacji chemicznej. Promieniowanie UV jest stosowane także w mikroelektronice układów, w celu usuwania całkowitego węgla organicznego z ultra czystej wody do płukania.